ฟิล์มหน้าต่างฉนวนความร้อนแมกนีตรอนโลหะสปัตเตอร์

การสปัตเตอร์แม่เหล็กเป็นเทคนิคการสะสมของฟิล์มบางโดยอาศัยการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ซึ่งใช้สนามแม่เหล็กเพื่อควบคุมการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนภายใต้สภาวะสุญญากาศ ทำให้สามารถสะสมอะตอมจากเป้าหมายโลหะหรือโลหะผสมลงบนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อสร้างฟิล์มที่มีความหนาแน่นสม่ำเสมอ หลักการสำคัญและขั้นตอนกระบวนการมีดังนี้: การสร้างสภาพแวดล้อมสุญญากาศ – กระบวนการสะสมทั้งหมดเกิดขึ้นภายในห้องสุญญากาศสูง โดยจะรักษาความดันไว้ระหว่าง 10⁻³ ถึง 10⁻¹ Pa เพื่อป้องกันสิ่งสกปรกในอากาศจากการลดความบริสุทธิ์ของฟิล์มและความเสถียรของโครงสร้าง

ฟิล์มติดหน้าต่างกันความร้อน ฟิล์มติดกระจกกันความร้อนสปัตเตอร์ วัสดุเป้าหมายและการกำหนดค่าพื้นผิว: เลือกวัสดุเป้าหมายที่เหมาะสมตามความต้องการด้านประสิทธิภาพของฟิล์มกรองแสง ตัวเลือกทั่วไป ได้แก่ โลหะผสมเงิน ไทเทเนียม และนิกเกิล-โครเมียม โดยทั่วไปแล้วพื้นผิวจะเป็นฟิล์ม PET (โพลีเอทิลีนเทเรฟทาเลต) ซึ่งมีการส่งผ่านแสงและความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม

การทำงานร่วมกันระหว่างสนามแม่เหล็กและสนามไฟฟ้า: การใช้สนามแม่เหล็กกับด้านหลังของวัสดุเป้าหมายจะสร้างสนามแม่เหล็กไฟฟ้าตั้งฉากที่ทำปฏิกิริยากับสนามไฟฟ้าภายในห้อง ทำให้เกิดการเคลื่อนที่แบบขดลวดของอิเล็กตรอนไปตามพื้นผิวเป้าหมาย สิ่งนี้จะเพิ่มความน่าจะเป็นที่จะเกิดการชนกับโมเลกุลอาร์กอน ทำให้เกิดอาร์กอนไอออนจำนวนมาก จากนั้นไอออนอาร์กอนของฟิล์มกรองแสงหน้าต่างจะถูกเร่งด้วยสนามไฟฟ้าและพุ่งกระหน่ำไปที่พื้นผิวเป้าหมาย ทำให้เกิดการหลุดออกของอะตอมและการสะสมตัวของอะตอมบนพื้นผิว PET

การสะสมคอมโพสิตหลายชั้น ของฟิล์มหน้าต่างฉนวนความร้อนสปัตเตอร์ : โดยการสะสมชั้นโลหะหรือโลหะผสมที่แตกต่างกันจะเกิดโครงสร้างคอมโพสิตหลายชั้นซึ่งไม่เพียงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพฉนวนกันความร้อนของฟิล์มติดหน้าต่างเท่านั้น แต่ยังหลีกเลี่ยงปัญหาการป้องกันสัญญาณที่เกี่ยวข้องกับชั้นโลหะเดี่ยว ในขณะเดียวกันก็ปรับปรุงความต้านทานการกัดกร่อนและความทนทานของฟิล์มด้วย